超精密加工技術(shù)的推廣意義深遠(yuǎn)
目成倍地增長，可達(dá)到200億個(gè)晶體管，在一塊硅片上實(shí)現(xiàn)一個(gè)系統(tǒng)，在不久的將來，一塊硅片上將實(shí)現(xiàn)現(xiàn)在一臺(tái)PC的功能。
當(dāng)前，以納米技術(shù)為代表的超精密加工技術(shù)和以微細(xì)加工為手段的微型機(jī)械技術(shù)有重要意義，它們代表了這一時(shí)期精密工程的方向。
特種加工方法(Nontraditional Machining Method)：喂料機(jī)又稱非傳統(tǒng)加工方法，它是指一些物理的、化學(xué)的加工方法，如電火花加工、電解加工、超聲波加工、激光加工、電子束加工、離子束加工等。加工方法本身又包括分離（去除）加工、附著（注入）加工和變形加工，即加工的概念不僅包含使工件的形狀、尺寸產(chǎn)生變化，還包括工件表面層材料的化學(xué)成分、組織結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能等的變化。特種加工方法的主要對象是難加工材料的加工，如金剛石、陶瓷等超硬材料的加工，其加工精度可達(dá)分子級(jí)加工單位或原子級(jí)加工單位，所以它常常又是精密加工和超精密加工的重要手段。當(dāng)前最值得注意的是激光加工、電子束加工、離子束加工等。
目前激光加工多用固體激光器，后者多用氙燈作光泵以發(fā)出光能，經(jīng)過聚光器將光能聚集以集中激發(fā)到紅寶石上，使它的原子核的能級(jí)發(fā)生變化而輻射出紅色激光，再經(jīng)二次反射和共振作用以發(fā)射出單色性、方向性好的激光束。發(fā)散角可達(dá)0. 1mrad，光束可聚到0.OOlmm，它的加工機(jī)理是利用熱效應(yīng)，使被照射斑點(diǎn)材料的局移動(dòng)破碎站部溫度升高、熔化、氣化而形成小坑，繼而爆炸形成小孔。激光進(jìn)行微細(xì)加工，它是非接觸方式，力、熱變形小。特種加工與傳統(tǒng)加工相結(jié)合的復(fù)合加工也有較大的發(fā)展前途。例如，在普通機(jī)床上，利用等離子加熱使切削層形成一個(gè)溫度場，可大大提高切削用量，尤其適宜于粗加工表面有粘砂和切削不均的零件，工效可提高4倍以上。