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IV、CV一鍵測；一體機(jī)，支持遠(yuǎn)程指令控制；支持三同軸接探針臺
能夠覆蓋從材料、晶圓、器件到模塊的測試；詳詢18140663476
概述：
SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是武漢普賽斯自主研發(fā)、精益打造的一款半導(dǎo)體電學(xué)特性測試系統(tǒng)，具有高精度、寬測量范圍、快速靈活、兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢。產(chǎn)品可以同時支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試，旨在幫助加快前沿材料研究、半導(dǎo)體芯片器件設(shè)計(jì)以及先進(jìn)工藝的開發(fā)，具有桌越的測量效率與可靠性。
基于模塊化的體系結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀可以幫助用戶根據(jù)測試需要，靈活選配測量單元進(jìn)行升級。產(chǎn)品支持Z高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量，同時檢測10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測量。SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀搭載普賽斯自主開發(fā)的專用半導(dǎo)體參數(shù)測試軟件,支持交互式手動操作或結(jié)合探針臺的自動操作,能夠從測量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個過程，實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
30μV-1200V,1pA-100A寬量程測試能力；
測量精度高,全量程下可達(dá)0.03%精度；
內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)器件測試程序，直接調(diào)用測試簡便；
自動實(shí)時參數(shù)提取，數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)；
在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線；
提供靈活的夾具定制方案，兼容性強(qiáng)；
免費(fèi)提供上位機(jī)軟件及SCPI指令集；
典型應(yīng)用：
納米、柔性等材料特性分析；
二極管；
MOSFET、BJT、晶體管、IGBT；
第三代半導(dǎo)體材料/器件；
有機(jī)OFET器件；
LED、OLED、光電器件；
半導(dǎo)體電阻式等傳感器；
EEL、VCSEL、PD、APD等激光二極管；
電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測量；
太陽能電池；
非易失性存儲設(shè)備；
失效分析；